本規(guī)范適用于直角坐標(biāo)系中的圖像測(cè)量?jī)x器。引用了幾何測(cè)量設(shè)備校準(zhǔn)和圖像測(cè)量?jī)x器驗(yàn)收監(jiān)測(cè)和復(fù)檢監(jiān)測(cè)中的不確定度評(píng)估指南。
需要熟悉涉及的更重要的參數(shù)。
1、測(cè)量投影儀在平面上的尺寸測(cè)量誤差(Exy):測(cè)量誤差表示將產(chǎn)品或樣品以任意方向放置在圖像測(cè)量平面上,測(cè)量二維尺寸的示值誤差。
2、測(cè)量投影儀在Z軸上的尺寸測(cè)量誤差(Ez):測(cè)量誤差表示在垂直于圖像測(cè)量平面的單軸方向上測(cè)量的示值誤差。
3、測(cè)量投影儀測(cè)量頭尺寸測(cè)量誤差(Ev):在不移動(dòng)平臺(tái)的情況下,圖像視場(chǎng)內(nèi)任意尺寸平面的測(cè)量誤差。
4、測(cè)量投影儀測(cè)量的各截面測(cè)量結(jié)果的一致性(Ec):影像測(cè)量?jī)x在光軸的不同截面上測(cè)量時(shí),各截面坐標(biāo)原點(diǎn)與XY的投影的一致性平面可以理解為圖像測(cè)量?jī)x沿Z方向上下移動(dòng)時(shí),Z軸與XY水平面的垂直度也可以反映測(cè)量頭在不同高度的圖像測(cè)量特性的一致性。
5、測(cè)量投影儀二維檢測(cè)誤差(P2D):使用影像測(cè)量?jī)x測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)圓的半徑。
6、測(cè)量投影儀探頭的檢測(cè)誤差(PV):使用影像測(cè)量?jī)x測(cè)量視場(chǎng)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)圓的半徑。
7、測(cè)量投影儀的變倍檢測(cè)誤差(Pz):使用影像測(cè)量?jī)x測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)圓心坐標(biāo)在不同倍率下的變化范圍。
近年來(lái),光學(xué)影像測(cè)量?jī)x器廣泛應(yīng)用于制造業(yè),與人們的生活息息相關(guān)。行業(yè)也呈現(xiàn)出快速擴(kuò)張的趨勢(shì)。我國(guó)的發(fā)光圖像測(cè)量?jī)x器行業(yè)市場(chǎng)也在不斷加速并購(gòu)。生產(chǎn)的產(chǎn)品數(shù)量多,增長(zhǎng)明顯;部分中低端產(chǎn)品產(chǎn)能過(guò)剩,而高端產(chǎn)品品種少、缺貨多,與國(guó)外產(chǎn)品性能差距較大。